MF5706/08/12氣體質(zhì)量流量計(jì)
MF5700系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于西安市高精密儀表廠自主研制的MEMS流量傳 感芯片,其原理是利用流動(dòng)氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系,在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得 到氣體的質(zhì)量流量。
一、MF5700系列氣體質(zhì)量流量計(jì)概述
MF5700系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是專為管徑為6mm~12mm的氣體管路中的低速氣流的流量計(jì)量而設(shè)計(jì)。螺紋與各種快速接口可輕松實(shí)現(xiàn)機(jī)械接口轉(zhuǎn)換,滿足用戶多種氣體管路的要求,該產(chǎn)品可用于過程控制、大氣采樣等各種工業(yè)應(yīng)用。
該流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí),在傳感器的 周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時(shí),氣體的流動(dòng)將破壞該 溫度場的分布,形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。微機(jī)電系統(tǒng)流 量計(jì)芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào),由一個(gè)專門的電路變 送器對(duì)此信號(hào)進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)傳感器的周邊形 成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動(dòng)不同,因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。
二、MF5700系列氣體質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn):
傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無需溫度壓力補(bǔ)償,保證了流量計(jì)的高精度計(jì)量
靈敏度高,能夠?qū)O小的始動(dòng)流量就可以開始計(jì)量
在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了80:1甚至更高
全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
支持多種氣體的測量,允許客戶對(duì)某些特殊氣體進(jìn)行現(xiàn)場標(biāo)定
響應(yīng)速度快
輸出方式靈活,提供LCD現(xiàn)場顯示,也可提供RS485通訊接口由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)
可通過按鍵配置參數(shù)
具有超量程報(bào)警指示功能
便攜式設(shè)計(jì),電池供電和外部供電方式可以任意切換
G螺紋或NPT螺紋連接,易于安裝與使用,也可根 據(jù)客戶需求定制其他接口
三、MF5700系列氣體質(zhì)量流量計(jì)的機(jī)械尺寸:
四、MF5700系列氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù):
五、MF5700系列氣體質(zhì)量流量計(jì)選型安裝:
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